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FD7004PA硅片研磨機

FD7004PA硅片研磨機


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  • 所屬系列:硅片研磨拋光機
  • 產品型號:FD7004PA
訂購熱線:0755-26527403

FD7004PA硅片研磨機

主要用途:

本設備主要用于藍寶石襯底、藍寶石外延片、硅片、陶瓷、石英晶體、其他半導體材料等薄形精密零件的單面高精密研磨及拋光。

設備特點:1.本設備為單面精密研磨設備,采用先進的機械結構和控制方法,研磨加工效率高,運行穩定。

2.整機采用PLC+觸摸屏控制系統,設備參數設置和操作簡單方便,系統穩定性高。

3.主電機采用變頻調速控制,實現主機軟啟動、軟停機,降低設備運行沖擊,減少工件損傷。

4.工件研磨壓力采用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控制實現壓力的閉環控制,保證極高的施壓精度與穩定性。

5.上壓盤采用主動驅動方式,在確保產品研磨速率的前提下保證各工位研磨加工的統一性。

6.研磨盤與上壓盤都設置了冷卻水冷卻功能,在保證研磨液發揮最大效率的同時減少研磨盤面的變形。

7.設備自帶盤面修整機,盤面修整后可保證0.01mm的盤面平整度。

設備參數:

磨盤規格

700mm

陶瓷盤直徑

240-260mm

主電機功率

4KW/380V

壓盤電機功率

0.4KW/380V*4(選配)

主電機轉速

100rpmmax

設備工位數

4

設備規格

1200*1500*2300mm

設備重量

2000KG


設備圖片:

3D陶瓷拋光機650532

該設備磨拋效果:

2點5D陶瓷后蓋研磨效果圖500

藍寶石研磨效果500400

技術參數 

?  拋光盤尺寸                                                     Φ700mm×   Φ160mm×12.7mm 

?  工作工位                                                      4  組  

?  陶瓷吸盤直徑                                                    Φ305mm  

?  加壓方式                                                      氣缸加壓  

?  主電機功率                                                     4 KW/380V  

?  工件盤驅動功率(伺服馬達)                                             0.4KW/380V ×4 (選配)  

?  工作氣壓                                                      0.4-0.6MPa  

?  工件盤轉 速                                                    1-40rpm  

?  拋光盤轉速                                                     5- 100rpm  

?  加工粗糙度                                                     Ra:0.0002  

?  設備總重量                                                     1800 kg  

?  外形尺寸L ×W ×H                                               950 ×1350 ×2300 mm  


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